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　X轴505mm(20")　　　　　　

　Y轴　405mm(16")　　　　　　

  Z轴　405mm(16")

测长系统基准：反射光栅分辨率：0.0001mm导向方式:各坐标轴上的空气轴承测量精度:(20℃±1℃)ISO10360-2E=(1.9+3L/1000)μm(当使用TP200时)E=(1.7+3L/1000)μm(当使用SP600时)R=1.9μm(当使用TP200时)R=1.7μm(当使用SP600时)ANSI/ASMEB89.1.球杆性能=9μm(.00036")重复精度=3μm驱动速度:CNC模式每轴定位时驱动速度?8mm/s至250mm/s(.31"/s至9.84"/s)(三轴移动时最大驱动速度430mm/s(16.93"/s))测量时驱动速度1mm/s至3mm/s(.04"/s至.12"/s)s最大测量加速度:各轴加速度980mm/s2(38.58"/s2)(三轴移动时最大合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))工件最大高度:545mm最大重量:180kg质量：515kg气压:0.4Mpa空气消耗量：50升/分(在正常条件下)或1.8CFM温度范围：16至26℃